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金徠技術(shù)

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

表面活化處理

一些非聚合物無(wú)機(jī)氣體(Ar2、N2、H2、O2 等)在高低頻下被激發(fā),電極表面活化能產(chǎn)生各種含有離子、激發(fā)分子、自由基等的活性粒子。一般來(lái)說(shuō),在等離子清洗中,活性氣體可以分為兩類。一種是惰性氣體(Ar2、N2 等)的等離子體,另一種是反應(yīng)氣體(O2、H2 等)的等離子體。等離子體產(chǎn)生的原理如下。對(duì)一組電極施加射頻電壓(頻率約為幾十MHz),在電極之間形成高頻交流電場(chǎng),該區(qū)域的氣體被交流電場(chǎng)激發(fā)而產(chǎn)生等離子體。

電極表面活化能

稱為電暈放電,鐵電極表面如何被刻蝕活化電壓和頻率、電極間距、處理溫度和時(shí)間都會(huì)影響電暈處理的有效性。電源電壓越高,頻率越高,加工強(qiáng)度越高,加工效果越好。但是,如果電源頻率太高或電極間隙太寬,就會(huì)出現(xiàn)電極過(guò)多。如果電極間距太小,則會(huì)出現(xiàn)感應(yīng)損耗和能量損耗。當(dāng)加工溫度高時(shí),表面特性迅速變化。處理時(shí)間越長(zhǎng),極性基團(tuán)越多,但如果處理時(shí)間過(guò)長(zhǎng),則可能在表面形成分解產(chǎn)物,形成新的弱界面層。

辨別真空等離子清洗機(jī)正負(fù)電極板的方法如下:我們打開真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)倉(cāng),電極表面活化能會(huì)發(fā)現(xiàn)里面安裝有若干電極板(亦有樣品托盤的作用)。那么哪個(gè)是正極板,哪個(gè)是負(fù)極板呢。一般來(lái)說(shuō)在真空等離子清洗機(jī)反應(yīng)倉(cāng)的后部安裝有兩個(gè)銅電極,其中左邊為負(fù)極,右邊為正極。每個(gè)電極條上有輸出端與倉(cāng)體側(cè)壁的鋁支撐對(duì)應(yīng)。

當(dāng)沒有施加電場(chǎng)時(shí),鐵電極表面如何被刻蝕活化整個(gè)鐵電體的外部不顯示極化狀態(tài),因?yàn)榭臻g中的疇取向是隨機(jī)的。但是,在足夠強(qiáng)的外電場(chǎng)作用下,電場(chǎng)的偶極矩向外電場(chǎng)方向轉(zhuǎn)移。這形成了極化強(qiáng)度(極化電荷)和外加場(chǎng)強(qiáng)(電壓)電位回路。磁滯錢圍起來(lái)的面積代表了每單位體積鐵電體在每個(gè)電場(chǎng)變化...

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