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金徠技術

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薄膜基材 plasma等離子處理能有效提高薄膜的表面性能,plasma清洗機等離子處理機等離子處理機提高表面潤濕張力并延緩其衰減,明顯提高薄膜鍍鋁后的鋁層附著牢度。并且 plasma等離子處理沒有電暈處理中存在的背面電暈影響熱封性能的情況,而且由于薄膜受熱少,薄膜的物理機械性能在處理中沒有改變。氣體對材料的滲透機理,從微觀來看,是分子的擴散的過程。

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選用plasma對微波半導體器件管座進行燒結前清洗,plasma cell等離子體細胞有效的地確保了燒結質量。三、清洗引線框架的plasma引線框架在當今塑料密封中仍占有相當大的市場份額,主要選用導熱性、導電性、加工性能好的銅合金材料制成引線框架。然而,銅的氧化物和其他污染物會導致模塑料與銅導線框架分層,影響電源芯片粘接和導線鍵合的質量。保證線架的清潔是保證包裝可靠性的關鍵。

這結果表明經過氧等離子體處理后的器件表面并未受到損傷,plasma cell等離子體細胞而是提高了器件的飽和電流。等離子體處理后的樣品,均比氧等離子處理前有所提高。這表明氧等離子體處理后提高了器件的大跨導,提高了器件性能。經過氧等離子體處理后,HEMT器件閾值電壓發(fā)生了負移,由于閡值電壓的減小,提高了器件的飽和區(qū)電流、跨導,實驗與理論值相符。經plasma清洗設備氧等離子體處理后的樣品的a降低了,Va 減小。

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