用于半導(dǎo)體晶圓清洗工藝的電暈；隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，電暈處理材料表面的圖片對(duì)加工工藝的要求越來越高，特別是對(duì)半導(dǎo)體芯片和晶圓的工藝性能要求越來越嚴(yán)格，首要因素是晶圓表面的顆粒物和金屬材料殘留污染會(huì)嚴(yán)重影響電子元器件的產(chǎn)品質(zhì)量和合格率。在目前的集成電路芯片制造中，由于晶圓表面存在沾污問題，仍要消耗50%以上的原材料。在半導(dǎo)體芯片加工工藝中，基本上每道工序都需要清洗，晶圓清洗產(chǎn)品的質(zhì)量嚴(yán)重影響電子元器件的穩(wěn)定性。

該噴射電暈流為中性，電暈處理材料表面不帶電，可對(duì)各種聚合物、金屬、半導(dǎo)體、橡膠、PCB線路板等材料進(jìn)行表面處理；2.電暈器處理后，去除碳化氫污垢，如油脂和輔助添加劑，有利于粘結(jié)，性能持久穩(wěn)定，保留時(shí)間長；3.低溫，適用于那些表面材料對(duì)溫度敏感的產(chǎn)品；4.無需箱體，可直接安裝在生產(chǎn)線上進(jìn)行在線操作加工。

電暈作用于材料表面，電暈處理材料表面的圖片使表面分子的化學(xué)鍵重新結(jié)合，形成新的表面特性。對(duì)于一些特殊用途的材料，電暈的輝光放電不僅加強(qiáng)了這些材料的附著力、相容性和潤濕性，還能對(duì)其進(jìn)行消毒殺菌。電暈廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體等領(lǐng)域。如果您對(duì)電暈技術(shù)真空電暈感興趣或想了解更多詳情，請(qǐng)點(diǎn)擊我們的在線客服進(jìn)行咨詢，也可直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線。

薄膜表面電暈處理器的作用和特點(diǎn)不但不降低薄膜固有的物理機(jī)械性能，電暈處理材料表面的圖片反而提高了其對(duì)油墨的潤濕性和附著力。。電暈處理材料表面dyne值的提高；電暈處理是一種電擊方法，可以使基材表面具有較高的附著力。其原理是利用高頻高壓對(duì)處理后的塑料表面進(jìn)行電暈放電（高頻交流電壓高達(dá)5000-15000V/m2)，產(chǎn)生低溫電暈，塑料表面發(fā)生自由基反應(yīng)，聚合物會(huì)發(fā)生交聯(lián)進(jìn)而表面變得粗糙，增加電暈對(duì)極性溶劑的潤濕性。

電暈處理材料表面

有時(shí)，銀漿和其他粘結(jié)劑溢出污染粘結(jié)填料。如果在熱壓鍵合工藝前用電暈清洗去除這些污染物，可以大大提高熱壓鍵合質(zhì)量。此外，由于裸芯片的基板與IC表面的潤濕性提高，也提高了LCD-COG模塊的結(jié)合緊密性，減少了電路腐蝕問題。電暈清洗技術(shù)可以去除金屬、陶瓷、塑料和玻璃表面的有機(jī)污染物，顯著改變這些表面的粘附和焊接強(qiáng)度。電離過程易于控制，重復(fù)安全。

從污染物來源看，微電子器件表面污染物主要包括外源分子的附著；器件表面與環(huán)境接觸時(shí)自然形成的氧化層有兩種。電暈表面處理技術(shù)可以有效處理這兩類表面污染物，處理過程中首先需要選擇合適的工藝氣體。氧氣和氬氣在電子元器件的表面處理中是常見的。

以硅片面板為例，根據(jù)測試，采用傳統(tǒng)的硅基太陽能制造工藝，不經(jīng)低溫電暈處理生產(chǎn)多晶硅太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率在17%左右，很難突破。結(jié)果表明，多晶硅太陽電池經(jīng)低溫電暈設(shè)備處理后，峰值功率和光電轉(zhuǎn)換效率平均提高約5%。由此推測，低溫電暈處理多晶硅電池表面的方法可以鈍化氮化硅表面，去除磷硅玻璃，清潔電池，優(yōu)化表面絨面革，從而可以提高太陽能電池的產(chǎn)品性能。

分成三種電暈效應(yīng)：微噴砂處理：離子沖擊剝蝕表面化學(xué)反應(yīng)：電離氣體與表面紫外輻射反應(yīng)：紫外輻射分解長鏈碳化合物。電暈的作用方式也會(huì)隨著壓力、功率、工藝時(shí)間、氣體流量、氣體成分等工藝參數(shù)的變化而變化。這樣，在單個(gè)工藝步驟中可以實(shí)現(xiàn)多種效果。

電暈處理材料表面的圖片

三是只用氬氣，電暈處理材料表面的圖片僅用氬氣就可以實(shí)現(xiàn)表面改性，但效果相對(duì)較弱。這是一個(gè)特例，是少數(shù)工業(yè)客戶需要有限而均勻的表面改性解決方案。3.安全易用。常壓電暈也是一種低溫電暈，不會(huì)對(duì)材料表面造成損傷。例如，對(duì)方阻敏感的ITOFilm材料也可以進(jìn)行處理。無電弧，無真空室，無排氣系統(tǒng)，長期使用不會(huì)對(duì)操作人員造成身體損傷。手4。區(qū)域很廣。常壓電暈可加工最大寬度為2m的材料，可滿足現(xiàn)有大多數(shù)工業(yè)企業(yè)的需求。5.低成本。