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定制等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品詳情


型 號(hào)

JL-RTR8000

設(shè)備主機(jī)

主機(jī)尺寸

1860mm長(zhǎng) X 1470mm寬 X 2000mm高

重量

2550Kg

安裝面積

3500mm X 5500mm(含開(kāi)門上下板位置)

電極

電極分布

垂直分布,每片電極獨(dú)立冷卻

電極數(shù)量

16片

RF 電源系統(tǒng)

品牌/型號(hào)

AE 10KW

功率@頻率

10KW @ 40KHZ

工藝氣體流量控制系統(tǒng)

流量控制器

parker氣體流量控制器

標(biāo)準(zhǔn)配置4路氣體

一路2000sccms,三路5000sccms

軟件控制系統(tǒng)

人機(jī)界面+PLC

真空泵系統(tǒng)

真空泵組

抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h (可選)

真空工作力

進(jìn)氣氧氣流量2.5-3.0L/min狀態(tài)下,工作壓力可控范圍180-300mTorr

生產(chǎn)能力

生產(chǎn)板最大尺寸

25X44 inch (21*24 inch 30塊/爐)

標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)板厚度

0.1-9mm(0.5以下薄板需定制軟板夾具)

生產(chǎn)板最小尺寸

4 X 4inch


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